光氧废气净化器设备中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气发作分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。
在光氧废气净化器中增加纳米级其他活性资料，将活性资料给予紫外线照耀，活性资料可以吸收大量的光能，于外表发作鼓励进而生成h+（空穴）与e-（电子），而空穴与电子所具有的氧化复原才能，可与氧、水发作反响，迅速生成具有*氧化才能的·OH（氢氧根自由基）与·O2-（超级阴氧离子）。OH氧化电位适当高，可以氧化有机挥发性废气中的电子，推进无光吸收才能物质的氧化分化。研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧化作用下，有机挥发性废气在短短2-3秒的时刻内就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O及其它无毒无害成份，废臭气体通过处理后可到达净化的更理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件，对于公司、企业来说使用上是适当的节能环保。
光氧废气净化器治理废气的种类有氨、*胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
