1一、真空设备正压法

a、压降法判断：在*密封所有接触面的情况下，通过压力仪表测试压力变化情况来判断泄漏量的大小，进而推断出该设备的泄漏程度，但不能就泄漏点进行明确定位。

q =（P1-P2）/ΔT

式中P1———充气结束后，检测开始时设备内部压力值，Pa;P2———测试结束时，设备内部压力值，Pa;ΔT———检测总时间差T2-T1，h

为更加准确的对设备泄漏大小情况进行定量判断，也可换算为泄漏率。

qL =q×V/3600

式中V———真空配件设备容积，L

根据设备的不同，其要求的泄漏率也不相同，适用于对大型容器泄漏的定性判断，一般对于微漏很难检测出来。

b、水浸检测：就是在设备内压力达到正压后，将其浸没于水中，通过观测气泡的情况，来判断泄漏的位置和大小，适用小型复杂腔体密封件的检测，可较的确定泄漏点的位置，因此该法又称为气泡法。对于大型设备，需要足够大的水槽，同时，设备的起吊和搬运相对困难，人员的观测也不容易靠近和操作，且此法要注意充气压力的控制，压力过低对与微漏点不会产生气泡，压力过大会对设备本身和操作人员产生安全隐患，需根据被检容器的设计情况确定合适压力范围。同时，对于双层加套结构，只能判断是否有漏点，气泡会从进出水管外溢，不能明确内壁的具体漏点位置。

c、定点测试：即在设备内部达到正压后，采用肥皂水对所有接口和焊缝进行涂抹，当有泄漏时，会发现明显的气泡产生，通过气泡的大小和频率可以明显地定位漏点和明确泄漏量的大小，此法也是气泡法的一种。此法特别适用于双层夹套结构的炉体检测（如图3 所示），由于该结构一般只有进水口出水口，通过堵塞一个口，向另一个口充入正压，即可对设备内外所有接口焊缝及板材中的漏点进行准确判断，且此种结构的可充气压力相对较高些，更便于观测，且操作简单，不用其他外购件和检测设备。

2二、真空设备负压法

a、压升率法，通过计算压力升高的速率，定性判断泄漏量的大小。

q =（P2-P1）/ΔT

式中P1———停止对真空腔体抽气后15 min 时的真空度，Pa;P2———测试结束时，设备内部的真空度，Pa;ΔT———检测总时间差T2- T1，h

由于设备的使用工况和对真空度要求的差异，P1 可能相差几个数量级，决定了真空抽气系统的形式。同时, 对于不同的炉胆形式应充分考虑材料放气的影响（特别是石墨炭毡及硅酸铝纤维等疏松多孔的保温材料）,建议对炉体进行抽极限和烘烤,再进行压升率的测试,通过计算可以对泄漏情况做出判断，但对漏点位置不能做出明确的定位。

b、丙酮检漏法：对于选用两级及两级以上的真空系统进行抽气，当真空度低于10 Pa 以下就可以采用丙酮法进行漏点位置的确定。为了便于观测，一般是经过较长时间的抽真空，当设备内的压力下降比较缓慢时（可认为已到达设备的极限真空度），采用针管将丙酮对各接口和焊缝位置进行喷洒，此时，对真空度进行随时观测，如果有漏点，在丙酮达到漏点位置的瞬间，由于液体的隔离作用，阻止了大气的持续漏入，真空度会迅速升高，但随着丙酮液体被吸入设备腔体内部，迅速挥发气化，此时设备的真空度又会马上下降，通过此法可以较为明确的判断出漏点的位置来。由于，丙酮为液态，在喷洒时对于垂直地面的焊缝，应由底部向上喷洒，以防液体快速流到底部焊缝，影响泄漏点位置的确定。此法对于真空设备来说，检测成本较低，但考虑到丙酮对真空系统可能会带来一定的腐蚀作用，需谨慎少量使用此法，特别是在有扩散泵的情况下，丙酮会对油体产生污染，影响到扩散泵的抽气能力和油的使用寿命，操作人员也要做好自身的防护工作，防止丙酮接触人体。

c、氦气质谱分析仪：该方法就是在负压法的基础上，采用质谱仪来进行检漏，其连接方式有多种，笔者根据实际的使用，对为通用和检漏本低的方式进行说明，该方法可以对漏点进行位置的确定和泄漏量的判断（对于小型腔体，可省去真空系统，采用氦气质谱分析仪直接对所检腔体进行抽气检漏）。

此方法的检测精度较高，适合对气密性要求很严格的设备的检测，氦气检漏仪一次性投资较高，检测运行成本相对较低，对检测人员无身体伤害，是比较理想的检漏手段。目前的检漏仪已有国产化的设备，已经可以是实现较低真空度的启动检测，小可检漏率已达到10- 12 cc/sec，报警点也可进行人工选择。通过笔者使用过的两台检漏仪比较，随着技术的进步，目前的起测点真空度已经可以达到2000Pa，这样就大大节省了检测前的抽真空时间，同时，检漏仪的体积越来越小，重量也越来越轻，更加方便搬运。