臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。该脱硝系统在不同的 NOx 等污染物浓度和比例下，可以同时有效率脱除烟气中的 NOx、二氧化硫和颗粒物等污染物，同时还不影响其他污染物控制技术，是传统脱硝技术的个有效补充或替代技术。而制备臭氧的设备就是臭氧发生器。
臭氧发生器分类：
1、按每小时产生臭氧量， 臭氧发生器分为小型（5g/h～100g/h） 、 中型（>100g/h～1000g/h）和大型（>1kg/h）。
2、按臭氧发生单元的结构形式，臭氧发生器分为管式和板式。目前，工业应用普遍采用管式臭氧发生器。
3、按介质阻挡放电的频率， 臭氧发生器分为工频（50Hz、 60Hz） 、 中频（100Hz～1000Hz）和高频（>1000Hz）。工频臭氧发生器放电所需的电压高，臭氧出气浓度低，体积大，效率低，目前处于逐步淘汰的阶段。
4、按供气气源，臭氧发生器分为空气型和氧气型。空气型以干燥洁净的压缩空气为原料；氧气型以工业氧气或现场制氧为原料。
5、按冷却方式，臭氧发生器分为水冷却和空气冷却，用于水处理、烟气处理等域的大型臭氧发生器多为水冷却；用于空气消毒、果蔬保鲜等域的小型臭氧发生器多为空气冷却。
臭氧发生器的好处：
1、臭氧氧化处理废水可有i效去除污水的色度、污染物、消毒、降解COD，对脏水进行深度处理，可以将脏水中的顽固脏染物质去除掉。可以杀灭包括抗氯性强的病毒和芽孢在内的所原微生物，臭氧分解后变成氧气，增加水中的溶解氧，改善水质。
2、臭氧具有速度快，是氯的几百倍，具有抑制细菌再次产生的功能，臭氧的Z终产物是氧气，不会产生有害物质。
臭氧能将水中不易降解的大分子有机物氯化分解为小分子有机物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，为后续处理(特别是生物处理)提供了更好的条件。
3、污水处理臭氧发生器的外壳由坚固的不锈钢打造，内置进口高硼硅介质管，进口石英管放电管，设计使用寿命长，结构设计合理，占地面积小，整套设备可使用十几年，运行经济，功耗低，几乎免于维护。
