气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃（细菌） → 回风夹道→新风、初效空气处理。 重复以上过程，即可达到净化目的。

换气次数：十万级10－15次/小时。 压差：主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃； 相对湿度：45－65％（RH）； 噪声≤65dB（A）； 新风补充量：总送风量的20％－30％； 照度：≥300Lux。

1.10万级电子车间洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。 2.10万级电子车间地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。 3.10万级电子车间净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。