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高温化学气相沉积系统

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产品型号KJ-T1500CVD-DZ

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更新时间：2022-09-01 15:45:20浏览次数：94次

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郑州科佳电炉有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：206条

所在地区：河南郑州市

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产品简介

产品介绍：此款定制高温气相沉积系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究

详细介绍

产品介绍：
此款定制高温气相沉积系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究。

产品特点：
1、该系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，智能控温无需要人看守。
2、炉膛采购氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封，密封法兰上安装有相关进气口及出气口

应用范围：
广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

产品参数：

产品名称	定制高温CVD系统
沉积炉
产品型号	KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式	开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	U型硅钼棒
极限温度	1600℃高温区
工作温度	≤1500℃高温区
升温速率	≤10℃/min
加热温区	单温区、双温区、多温区
温区总长度	200、300、400mm
炉管材质	刚玉管
炉管直径	40、50、60、80、100mm
密封方式	定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口方便进气底部法兰加支架方便工件放在沉积炉低温区
控制模式	每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	B型双铂铑热电偶
供电电源	220V/380V 50HZ
供气系统集成在控制柜上
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	浮子流量计
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
气化炉A、B
温度	700
工作温度	500
炉膛尺寸	定制
开门方式	上开
进气口	一个进气口
出气口	一个出气口
售后服务	12个月质保（易耗件及人为损坏除外），终身保修

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。