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郑州科佳电炉有限公司
产品介绍:该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究
产品介绍:
该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。
应用范围:
广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
技术参数:
产品名称 | 1200℃双管滑道式CVD系统 |
部分: 1200度滑道双管双温区管式炉 | |
产品型号 | 1200度滑道管式炉 |
炉管尺寸 | 双石英管 外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm 内管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
加热区 | 220+220mm |
供电电源 | 230V,单相,50HZ |
功率 | 4.0 kw |
加热元件 | 电阻丝 |
升温速率 | 0-20°C/min |
热电偶 | K型 |
第二部分: 水冷系统 | |
法兰 | 1.水冷机 CW-3000 2.水冷,密封双管的真空法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管. |
第三部分 真空系统 | |
真空系统 | 1. 防腐数显真空计 2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含挡板阀 KF25接口,波纹管和箱体 |
第四部分 混气系统 | |
质量流量计 量程: MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm ....... |
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