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RTP快速退火炉

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产品型号KJ-RTP1000-DZ

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更新时间：2022-09-01 15:59:59浏览次数：189次

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郑州科佳电炉有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：206条

所在地区：河南郑州市

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产品简介

产品介绍：该定制RTP快速退火炉是一款RTP(快速热处理)管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3）退火而设计

详细介绍

产品介绍：
该定制RTP快速退火炉是一款RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。这款设备是采用红外灯加热，升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制，RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。

应用范围：

退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉，是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，采用红外灯管加热，升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。

技术参数：

产品名称	定制RTP系统
部分：管式炉
产品名称	开启式上下温区RTP管式炉
温度	1000度
控制器	LCD触摸屏
炉管尺寸	石英管外径80mm/内径72mm 单侧开口
加热区	300mm
炉型	开启式
供电电源	电压：380V；频率:50 hz；三相
加热元件	卤素灯加热
升温速率	30 C/秒
热电偶	K 型热电偶测物料处温度
温度控制器	30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分混气系统
量程	MFC1：氧气（O2）0-200sccm MFC2：氩气（Ar）0-200sccm
第三部分真空系统
飞越VDR-4 1L/S +粉尘过滤器配套防腐数显真空计

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