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准方硅片(156×156(mm))
【简单介绍】
【详细说明】
型号 156×156(mm) 125×125(mm) 生长方法 柴氏法CZ 柴氏法CZ 型号掺杂 P/N型掺硼/磷 P/N型掺硼/磷 晶向偏差 <100>±2° <100>±2° 氧含量 ≤1.0×1018 atoms/cm3 ≤1.0×1018 atoms/cm3 碳含量 ≤5.0×1016 atoms/cm3 ≤5.0×1016 atoms/cm3 少子寿命 >10μs >10μs 电阻率 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 位错 ≤2000/cm2 ≤2000/cm2 准方边长 156±0.5 mm 125±0.5 mm 对角线尺寸 200±0.5 mm 150±0.5 mm 翘曲度 ≤70µm 70µm TTV ≤40μm 40μm |
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