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超纯水处理系统在百级无尘室设计案例

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更新时间：2022-05-23 12:10:57浏览次数：126次

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超纯水处理系统在百级无尘室设计案例项目背景：该超纯水处理系统应用于百级无尘室内中，该项目对超纯水处理要求高，原水水质为企业自来水要求，出水要求要达到百级芯片清洗水

详细介绍

超纯水处理系统在百级无尘室设计案例

项目背景：该超纯水处理系统应用于百级无尘室内中，该项目对超纯水处理要求高，原水水质为企业自来水要求，出水要求要达到百级芯片清洗水。进水经过预处理工艺，要进入二级反渗透膜工艺，对水质进行除盐过滤。同时，要进行EDI深度除盐处理设计，在末端再经过TOC脱除器脱除有机物以及抛光混床进一步精处理，最终经过超滤膜过滤后，出水水质就可以满足用水点的水质要求。

项目工艺：

半导体超纯水案例　　