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上海旦顺实业有限公司
晶圆片预热烘箱,晶圆片热风循环烘箱,150度热风预热烘箱
本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到*温度控制精度。
技术参数:
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 温度范围:RT+60℃~300℃
4. 无尘烤箱洁净度:100级;
5. 温度均匀性: ±1.5%
6. 波 动 度:±0.5℃
7. 电 源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉;
9. 空气循环装置:大容量轴流电机;
10. 加热方式:不锈钢电加热器;
11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;
12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;
13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;
14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;
15. 排 气 口:ф50;
16. 隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG。
无尘烤箱:, 传真::蒋鑫,
:www.done-e.com.
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