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东莞市中昊自动化科技有限公司
中昊作为专业传感器解决方案专家,可为你提供各类进口传感器,我们拥有专业的、曾在跨国传感器领头集团从事研制研发的高技术工程团队,和专业化的销售团队,以及实力厂家全力对接的与培训。对于传感器方面的技术问题与开发应用,中昊针对不同行业,提供Z适合您的让您满意的传感器解决方案。可以为你解决你的问题与烦恼,欢迎各大商家咨询:
松下Panasonic光电传感器M-DW1兼顾高速反应性和高精度
性能特点:
采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器
安全性的LED式
以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
亦可检测玻璃晶圆
M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
可检测涂氮晶圆
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测
利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
可从四个方向引出电缆
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。
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