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北京哲勤科技有限公司
PVA TePla 公司的IoN 40 等离子体设备是为实验室和生产领域设计的全功能的等离子体处理设备。该设备外观简洁,系统高度集成化,可应用与半导体、生物技术、电子、医疗、材料等各个领域。PVA TePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子体设备为各种不同应用领域提供了*的创新解决方案,得到用户的广泛信赖。
PVA-TePla 射频等离子体去胶机(*)
型号:IoN 40 (M4L 升级版)
典型应用:
去除光刻胶 Photo-resist Stripping
表面精密清洁 Surface Precision Cleaning
表面活化 Surface Modification
提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements
改变表面亲水性/疏水性 Hydrophilic/Hydrophobic
分子接枝 Molecular Grafting
涂层 Plasma Deposited Coatings
规格参数:
13.56MHz风冷射频电源(0~600w可调,可选0~300W,0-1000W),
高灵敏快速自动匹配功能
阳极表面处理铝制腔体,
水平抽卸极板/垂直极板/侧壁极板/水冷极板,
不锈钢防腐蚀MFC,
多至6路气体,
兼容8英寸及以下晶圆
可选配法拉第桶
可选配压力控制系统
PC工控机控制,运行数据自动存储
触控屏图形化界面
外形尺寸:775×723×781 mm
认证:
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
USP Class VI
FDA CFR Title 21 Part 11
CISPR 55011
ISO 9001
NFPA79
NFPA70
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