相城区活性炭吸附设备精工打造常州天之尚环保设备有限公司 成立于2006年,公司总部位于常州,是一家致力于工业粉尘、废气处理系统设计、制造、安装于一体的专业化公司。

反应除去部 1，由容器 11、以及堵塞该容器 11 的开口部的盖 12 来构10成。容器 11，是由氧化铝 （ alum ina）、 石英等耐蚀性材料构成的有底圆 筒状的部件，在其底部上形成有导出管 5 的开口部，另外设有多孔板 13,以防填充在内部的废气处理剂 2 漏出。
    盖 12 ，是由氧化铝、石英等耐蚀性材料来构成的板状的部件，相对于 容器 11以自由装卸的方式安装，根据需要能够更换填充在内部的废气处15理剂 2。另外 ，在盖 12 上形成有导入管 3 的开口部 。
    并且，在容器 11 内，填充有上述的粒状的处理剂 2，但此时以使处理 剂的填充率成为 30 70 体积%的方式被填充，使得不阻碍废气的顺畅的 流动 。
    来自半导体制造装置 21 的废气，经过导入管 3，导入到反应除去部 120内，在此 ，由上述的化学反应除去有害气体成分 ，被净化的废气由泵 22吸引而从导出管 4排出到系统外部 。
    另外，在来 自半导体制造装置 21  的废气中，在含有 s或者 P町等 的除去反应中需要氧的有害气体成分的情况下，从供氧管 5 将适量的氧和 废气共同送入反应除去部 l内。
    25对于这样的废气处理剂而言，由于多孔质且实质的表面积极其大  ，因 此与有害气体成分之间的接触面积增加，可以增大处理剂单位量对应的废 气处理量  ，能够以少量的处理剂量来处理大量废气。
    另外，处理后的废气处理剂，变成    CaF2C 氟化钙、萤石）、 CaSi03（硅酸钙> 或者 Ca2CP04 )3C磷酸钙>， 这些钙化合物，稳定且无害 ，30不需要任何后续处理 ，进而能够在氟原料、玻璃原料、磷原料等中再利用。
    进而，由于处理装置的结构简单 ，不需要特别的设备，因此设备成本廉价。
    接着，说明使用氢氧化钙的存在比为 20 重量%以上且不足 70 重量% 的处理剂的废气处理的优越性。
    sCaO 以及 Ca  ( OH )  2 的密度 ，分别为 ，3.25g/cm3 以及 2.24g/cm3 。另外，Ca 剂发生反应而生成的、例如 CaF2 的密度为 3.18  g/cm3 。在此，若 Ca  (OH )  2 不足 20 重量% ，则由于 Ca 剂 （CaO 与 Ca  ( OH )  2 的混合物） 的密度与生成的 CaF2  的密度大致相同，因此反应效率降低。另外，在 以 Ca 化合物除去 F 成分的情况下，生成物与 Ca 化合物的摩尔体积也重要 。
    10即，在 Ca 化合物的摩尔体积大于 CaF2 的摩尔体积的情况下，由于由在表 面上发生的反应在表面上产生拉伸应力 ，而产生细微裂缝，新鲜的 Ca  化 合物出现在表面上，因此进行与 F 的反应，但是在摩尔体积偏小的情况下， 由于在表面上产生压缩应力，因此难以产生细微裂缝。例如 ，CaF2 的摩尔 体积为 24.6cm3/mol , CaO以及 Ca( OH)2 的摩尔体积，分别为 ，17.3 cm3/mol15以及 31.7cm3/mol 。在此，若 Ca( OH)2 的比例不足 20 重量% ，则由于 Ca 化合物的摩尔体积与 CaF2 的摩尔体积大致相同，因此反应效率 降低。 另外，在生成物为 氯化物的情况下，由于因其潮解性 ，OH 基与 CaCI2相结合而导致 Ca (OH) 2 的比例减小，因此反应效率下降。另一方面 ， 若超过 70重量 % ，则不仅氧化钙剂粉化而导致反应效率明显下降，还产20生大量的水分。因此需要水分除去筒。另外 ，由于   Ca( OH)2 不足 20%的氧化钙剂为在消防法中的 “危险品” ，因此，优选为 20 重量%以上 。 利用XPSex 射线光电子光谱分析装置 > ，分别对于氢氧化钙的存在比为 20 重量% 以上、不足 20 重量% 、超过 70 重量% 、不足 70 重量 % 的 氧化钙剂与 COF 2 气体的反应前后，进行表面分析。图 2A图 7B 表示其25结果的一例。
    图 2A 是含有不足 20 重量 %的 Ca( OH)2 的 CaO 剂的与 COF2 反应 前的 Ca2p光谱，图 2B 是反应后的 Ca2p 光谱。另外，在图 2A7B 中， 各图表的纵轴表示蚀刻（etching ） 时间，这对应于 CaO 剂的深度 。反应前 的 Ca2p 通过与氧 （0） 成分结合而大约在 350.4eV 上具有峰值 （peak ）。
    30可知，在反应后的  Ca2p中表面的峰值位置转移到高能量侧 （ 352.4与，、200580003360. 6说明书第8/  12页358eV ）， 在该部分，Ca 与 F 相结合。

상성 구 활성탄 흡착 설비 정공 제조 상주 천 의 상 환경 설비 유한 공사 가 성립 된 2006 년 에 회사 본부 에 위치 한 다 는 공업 분진, 폐기 처리 시스템 설계, 제조, 설치 한 전문 화 회사 이다.
리액션 1 부, 용기 11, 그리고 용기에 막히는 11 개의 입구부의 12 에서 10 을 구성한다.용기 11, 산화 알루미늄 (alenina), 석영 등 내식성 재료로 구성된 원통 원통으로 구성된 원통 부품이며, 밑바닥 에 5 의 내비판이 형성되어 있으며 다공판 13 을 설치하고, 내부의 폐기 처리제를 채우기 위해 누락된다.
12. 알루미늄, 석영 등 내식성 재료로 구성된 패널의 위젯, 용기 11 에 대한 자유 선적 방식으로 설치되며, 근거에 따라 내부의 폐기 위치에서 15 리제 2 를 교체할 수 있습니다.또 덮개 12 위에 도입관 3 이 형성되어 있다.
또한 컨테이너 11 내에는 상술한 입형처리제 2 를 채워주지만, 이 때 처리제 충전율을 3,770 체적% 로 채우기, 폐기 를 방해하지 않는 순조로운 흐름을 만들 수 있습니다.
반도체 제조 장치 21 폐기, 가져오기 관 3, 반응부 120 곳 가져오기 120 안으로, 이 곳에서 상술한 화학 반응에서 유해가스 성분이 제거되어, 정화된 폐기는 22 에서 끌어내면서 시스템 외부로 배출됩니다.
또 반도체 제조장치 21 폐기 중 함유 s 나 P (P) 등 반응에 산소를 필요로 하는 유해가스 성분을 제거하는 경우 산소관 5 에서 적당량의 산소와 폐기 를 반응하며 l 을 제거한다.
25. 이 같은 폐기처의 경우 다공질 뿐만 아니라 실질적인 표면에 적극적인 편이어서 유해가스 성분 간의 접촉 면적을 증가시켜 처리제 단위량 대응 폐기 처리량 증대, 소량의 처리 제량으로 폐기 를 처리할 수 있다.
또 처리 후 가스 처리제는 CaF 2 C (CF 2 C) 불화칼슘, 반디칼륨), Cax 3 (규산칼슘) 또는 Ca2 CPA (Ca2 CPO 4) 의 3 C 인산 칼슘이 되어, 칼슘화합물은 안정적이고 무해, 30 퍼센트는 후속 처리도 필요 없고, 불소 원료, 유리 원료, 인 원료 등에 재활용할 수 있다.
따라서 처리 장치의 구조가 간단하기 때문에, 특별한 설비가 필요하지 않기 때문에 장비가 저렴하다.
이어 수소 산화 칼슘의 존재가 20 대 이상% 이상보다 70 량 2% 부족으로 부족한 처리제들의 폐기 처리의 우월성을 설명한다.
sCaO, 그리고 Ca 2 의 밀도, 3.25 g / cm 3, 그리고 2.24 g / cm 3 입니다.또한 Ca 제 반응 발생, 예를 들어 CaF 2 의 밀도는 3.18 g / cm 3 입니다.이 자리에서 Ca (오) 2 에 20 중량 부족하면 Ca 제 (Ca (OH (OH (OH (OH (OH (OH) 2 의 혼합물) 과 밀도는 CaF 2 의 밀도가 같기 때문에 반응이 효율적이다.또 Ca 화합물이 F 의 성분을 제거하는 경우, 생성물과 Ca 화합물을 제거하는 모르체적으로도 중요하다.
10 을 앞두고 CA 화합의 모르체적은 CaF 2 의 모르체피 (MaF 2) 의 마르체의 경우 표면에서 발생하는 반응을 표면적으로 끌어당기는 응력을 가지기 때문에 약간의 균열이 생기며, 신선한 Ca 화합물은 표면에 나타났기 때문에 F 의 반응에 오르지만, 모엘의 체적이 작은 경우표면에 압축응압력이 발생하기 때문에 미세한 틈이 생기기 어렵다.예를 들어 CaF 2 의 모르체적은 24.6 cm 3 / ml, CaO, 오 (오) 2 의 모르 3 을 비롯해, 17 cm 3 / mol15 와 31.7 cm 3 / ml 을 각각 차지했다.이 자리에 Ca (오) 2 의 비율이 20 중량 부족하면 Ca 화합의 모르체피 (MaF 2) 와 CF 2 의 모슬이 대체로 같기 때문에 반응이 효율적이다.또 생성물을 염소로 만드는 경우, 그 조습성 때문에 오기와 CaCIIII 2 가 결합해 a (오) 2 의 비율이 극단적으로 줄어들어 반응이 효율적이다.한편, 70 무게% 1% 를 넘기면 산화 칼슘이 아니라 리액션 효율을 떨어뜨리며 20 년생 수분 칼슘이 크게 줄어들고 있다.그래서 물기를 제거하고 통증을 제거해야 한다.또 Ca (오) 2 부족 20% 의 산화 칼슘제는 소방법 중 '위험품' 으로, 20 대% 이상 최적으로 선정됐다.시소칼슘의 존재에 비해, 시소산화칼슘의 존재에 비해, 시소칼슘의 존재에 비해, 수소산화칼슘의 존재에 비해, 20 중량, 70, 70, 무게 70, 무게 70, 무게 70 이 넘는 산화 칼슘 및 cF 2 의 반응에 비해 표면적으로 분석합니다.그림 2 A 도 7 B 는 그 결과 25 개의 결과를 발표했다.
2 A 는 2 A 가 20 량 부족한 Ca (오) 2 의 CaO 를 함유하고 있는 CF 2 P 2 p 스펙트럼과 2 B 는 리액션 후 Ca 2 p 스펙트럼을 갖고 있다.또 그림 2 A 7 B 중 각 도표 종축은 에치 (etching) 시간을 표시해 CaO 에 대한 깊이를 나타낸다.리액션 전 Ca2 p 는 산소 (0) 의 성분을 결합해 약 350.4 eeeeeeeeeeeechs 를 통해 절정 (peak) 을 갖고 있다.
30 분 (352.4 과 2,58,8,08,0336070. 6 설명서 8 / 12 페이지 358eV) 를 반영한 Ca2 2 p 의 최고치 위치가 높은 에너지 옆 (352.4, 2,5,8300 336070. 6 설명서) 에 이어, 이 부분에서 CA 와 F 가 결합한 것으로 나타났다.