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晶圆x射线晶体定向仪分拣系统

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更新时间:2024-04-02 17:46:16浏览次数:138次

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经营模式:代理商

商铺产品:91条

所在地区:上海上海市

联系人:丁林 (市场部经理)

产品简介

晶圆x射线晶体定向仪分拣系统用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。

详细介绍

晶圆XRD的特点


◇  自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。

◇  晶体取向和电阻率测量 

◇  晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定 

◇  未抛光的晶圆和镜面的距离测量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口




的Omega-scan方法:

 

◇  高的精度 

◇  测量速度: < 5秒/样品 

◇  易于集成到工艺线中 

◇  典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。

 

更多信息请联系我们。



全自动化的晶圆分拣和处理系统


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