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在饮用水处理方面，臭氧主要有三种方式得以应用:
①臭氧作为饮用水的消毒剂，在欧洲使用尤为广泛，但臭氧消毒后还需要在管网前端投加定的余氯以维持管网系统的水质稳定。
②在混凝沉淀池前投加臭氧，作为给水处理的预处理，作用是氧化铁、锰等离子，去除色度和臭味，改善絮凝和过滤效果，取代加氯，有效减少卤代烃消毒副产物的生成。
③在饮用水的深度处理方面，臭氧常与颗粒活性炭组成臭氧生物活性炭工艺，通过臭氧氧化、活性炭吸附和微生物降解等多重作用，有效提升出水水质。在污水处理方面，臭氧与多种技术结合已经得到了较为广泛的应用，如臭氧紫外线、臭氧过氧化氢、臭氧催化氧化等。 在内近年新建的批污水厂和再生水厂中，臭氧高氧化技术作为深度处理、脱色、消毒工艺被广泛采用。
臭氧为了混合气体其浓度通常按质量比和体积比来表示。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。卫生经常用ppm表示臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之为1ppm。臭氧的浓度是衡量臭氧发生器技术含量和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。影响臭氧浓度的主要因素有：
1、臭氧发生器的结构和加工精度；
2、冷却方式和条件；
3、驱动电压和驱动频率；
4、介电体材料；
5、原料气体中氧的含量及洁净和干燥度。
6、发生器电源系统的效率。
大型臭氧发生器设备用于水厂消毒的优势：
、有效
紫外线消毒存在距离短、能力弱、有死角等问题，效率低。而臭氧是种气体，经臭氧发生器产生之后，可快速弥漫到食品车间、办公区等需要消毒的场所，且可避免的空间死角问题。
二、快速
臭氧主要利用其强氧化性进行消毒，这种消毒的过程在瞬间完成，速度比氯等消毒剂快许多倍。
三、广谱
臭氧是种广谱剂，不仅可杀灭有害菌的繁殖体、芽孢、病毒、真菌和原虫孢体等多种微生物，还可杀灭破坏肉毒杆菌和毒素及立克次氏体等。
四、操作方便
臭氧设备可安装在室内或空调系统、空气净化系统、大的设备中，可根据所需臭氧的浓度及时间，自动设置臭氧设备的时间，操作方便。而使用环氧乙酸、醋酸、甲醛消毒，所需的时间较长。
五、环保卫生
臭氧消毒之后，会很快自行分解为氧气，没有残留，没有二次污染，是种环保型消毒剂。
六、经济实惠
很多人认为，在食品、药品、化妆品等产品生产过程中，使用臭氧发生器消毒，要耗费较高的成本。其实，这种看法是错误的。臭氧发生器的使用简单，插电即可使用，不需要复杂的操作，不需要人员来使用，这可节约用人方面的工资。同时，使用臭氧发生器的能耗相对较小。
