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废水深度处理，能够进步去除二级处理未能去除的污染物，如磷、氮和生物难以降解的有机污染物、无机污染物、病原体等，实现二级处理无法实现的脱色、除臭目标，达到改善水质和有关排放标准要求，还可以实现废水的回收和再利用。 废水深度处理技术般包括臭氧氧化、活性炭吸附、膜分离等技术。其中臭氧可以通过臭氧发生器进行制取。
臭氧发生室内的高频高压电场内，部分氧气变成臭氧，产品气体为臭氧化气体，通过出气自动调节阀后排出。每台臭氧发生器出气管道上装有取样阀，连接配套气态臭氧浓度仪，实时检测臭氧出气浓度。每台臭氧发生器设置内循环冷却水系统，为臭氧发生器提供冷却水进行换热冷却。每套冷却水系统含板式换热器、冷却循环水泵及相应的阀门仪表等。
臭氧发生器的冷却水出水管路设有水流量开关检测水流量异常并反馈到自动控制系统；出水管路设置温度传感器，用于检测冷却水温度并反馈到自动控制系统；当冷却水温度超过设定值或者流量低于设定值时报警。
当臭氧系统停机时，臭氧进气端的进气开关阀和臭氧出气端的自动调节阀将关闭，同时在进气端与出气端分别配有手动球阀，防止自动阀门失效不能关闭及调节。臭氧制备间内安装臭氧/氧气泄漏报警仪。当臭氧制备间内环境中臭氧/氧气泄露超标时，由臭氧/氧气泄露报警仪检测发出报警、启动排气风扇（排风扇由用户自备），在报警后1-10分钟内（用户设定）故障尚未排除将自动切断本房间相关设备电源。
臭氧接触池设置尾气破坏器，池子内的尾气经除雾器去除水雾与水滴后，进入尾气破坏器反应罐。尾气破坏器采用加热催化的方式将臭氧分解，整个尾气破坏装置的控制由尾气破坏箱控制。经臭氧尾气破坏装置的出口气体臭氧浓度小于0.1ppm，可直接排放到大气中。
玻璃管的检修：
（1）首先切断设备电源、关断冷却水进出阀、关闭进出气口，并将发生室内的气体放空，确保发生室内外压力相等。
（2）拆卸发生室封头连接螺栓，打开封头。并放置段时间，以流通内部的粉尘和残余气体。
（3）拆除连接高压端子以及电极间的不锈钢连接片（要记好连接方式，以便恢复）。
（4）用手轻轻抽出内电极组件（包括金属内管、丝网、螺母、鞍形垫片和玻璃管）。可起抽取，也可以先抽出内电极管再抽取玻璃管。
提示：操作过程中要带挂胶的线手套，操作时要轻；如果有的管较紧，要先轻轻转动，边转边向外抽，避免玻璃管破损，伤害操作人员。
（5）清洗内电极管（包括不锈钢管、丝网、鞍形点垫片）和玻璃管，可采用酸洗的办法进行。
提示：酸洗后必须用纯净水*冲洗干净，然后吹干或自然晾干，吹干或自然晾干的内电极管适当存放，防止二次污染。所有操作过程要轻拿轻放，防止损坏玻璃管。
（6）发生室清洗：将发生室的进、出气口与管路断开，防止在清洗发生室内腔时有水或其它杂质进入到气管中。先用纯净水冲洗发生室，然后用百洁布清除放电腔内的杂质，如有必要可蘸对不锈钢无腐蚀的溶剂进行清洗。然后再用纯净水清洗干净，并晾干。
（7）缠绕定位胶带：在清洗干净的玻璃管外壁粘贴三道胶带，玻璃管两端约200mm处各道胶带，中间道胶带。
提示：在取玻璃管时要配戴丝质手套，防止污染玻璃管。如有必要，需要用干净的无纺布蘸酒精擦拭干净后再粘贴胶带。
（8）将内电极管穿入粘好的玻璃管。
提示：穿玻璃管时应轻柔缓慢的进行，松紧适度。有时可能出现穿管困难，此时严禁强行穿管，应调换组玻璃管继续进行。
（9）将组装好的玻璃管装入发生室。
