检漏方法通常有两种：一种是气溶胶光度计检漏法；另一种是尘埃粒子计数器（OPC）检漏法。检漏包括滤材、过滤边框和支撑架等在内的整个过滤系统。检测时，在过滤器的上风向注入气溶胶，在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描，或在风管中的过滤器下风向采样。（1）气溶胶光度计检漏法①进行已装过滤器检漏前，应完成风速合格性检测。②检测时，需在过滤器的上风向注入特殊材质的气溶胶样品。DOP（邻苯二甲酸二辛酯）是早使用的一种气溶胶样品，距今已有50年历史，但由于其致癌作用，逐渐被PAO（聚a烯烃）取代。电子厂房洁净度测试

PAO属于四类合成基础油，它是常用的合成润滑油基础油，具有良好的黏温性能和低温流动性。目前，制药工业已*采用PAO-4（运动黏度4mm2/s），同时也是通用气溶胶光度计测试的气溶胶样品，发生浓度为（10~100）μg/L，浓度低于20μg/L时检漏的灵敏度欠佳，高于80μg/L时，浓度过高会污染过滤器。③按规定的扫描速度移动采样头往复扫描，采样速度为15cm/s。采样头距过滤器出风面和框架结构约3cm，应扫遍过滤器的整个出风面、过滤器周边、边框与安装构架之间的密封处及安装构架的结合点。④当气溶胶光度计下游显示读数超过0.01%时，持续停留测量一段时间，选取大读数位置判定为泄露位置。（2）尘埃粒子计数器检漏法尘埃粒子计数器检漏法通常用于设施不允许有油基挥发性检测气溶胶，或推荐使用固体气溶胶的场合。电子工业常用该方法进行过滤器检漏。①检测时需在过滤器的上风向注入特殊材质的气溶胶样品，可选用PSL标准物质，数量中值粒径为（0.1-0.5）μm。②检测时，在过滤器的洁净侧扫描，扫描速度保持5cm/s，发现计数多于采样时间内可接受的观测计数时，可能存在渗漏。采样头移至计数大的地方，复测计数多于静止时间内合格的观测计数，则表明渗漏。电子厂房洁净度测试