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WOP激光微加工一体化研发平台FemtoLAB

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产品型号FemtoLAB

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更新时间:2024-05-07 09:08:29浏览次数:170次

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产品简介

产品介绍FemtoLAB是一款飞秒激光微加工工作站

详细介绍

产品介绍

FemtoLAB 是一款飞秒激光微加工工作站。需要为各种任务定制解决方案的科学实验室和研发部的好选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的组合激光微加工工艺,可执行多种应用。

性能特点
  • 制造具有亚微米分辨率的复杂物体
  • 高速高精度微加工
  • 光束传输和功率控制效率高
  • 工业级飞秒激光器
  • 高性能检流计扫描仪
  • 物体运动与激光脉冲时空同步
  • 的软件界面控制所有硬件单元
技术参数
  • 产地:立陶宛
  • 推荐材料:所有材料:玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。
  • 激光:高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光
  • 样本量:兼容 160 mm x 160 mm 的设计
  • 最小特征尺寸:200纳米
  • 定位系统:XYZ 机械轴,定位精度 +- 0.3 μm,具有连续晶圆级图案化
  • 扫描系统:适用于所有激光波长的振镜系统
  • 样品处理:手动与自动对齐
  • 尺寸(长 x 宽 x 高):1500 × 1350 × 1400mm
  • 重量:1100kg
  • 电源:2x 220 VAC, 16 A
产品参数


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