利用 高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
光氧废气净化器的工作原理：
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由臭氧发生器作用引起的气体物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子，分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
从净化空气效率考虑，我们选择了-C波段紫外线和臭氧发生器结合电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放吸附技术相结合的原理对气体进行，其中-C波段紫外线主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及 。
利用 高臭氧UV紫外线光束(发出的波长主要为 170nm 及 184.9nm,能量为 742kj/mol 和 647kj/mol)照射恶臭气体，列解(恶臭)废气如：氨、胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC 类，苯、甲苯、二甲苯等分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物分子链，在 紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如 CO2、H20 等。 高臭氧紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧对物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的 效果。灯管两边的催化层(催化剂：纳米)在受到紫外线光照射时生成化学活泼性的超氧化物阴离子自由基和氢氧自由基，攻击物，达到降解物的作用。属于非溶出型材料，在 分解污染物和杀 的同时，自身不分解、不溶出，光催化作用，并具有的、降解污染物效果。恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用 紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
低温离子原理：低温等离子废气净化模块采用了 的 吸附-分解-碳化工艺技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干法处理、烟雾废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，维护保养方便。
光氧废气净化器的特点：
1、除恶臭：能去除挥发性物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率可达90%以上，脱臭效果超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）．
2、无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力，使恶臭气体通过本设备进行脱臭分解净化，无需添加任何物质参与化学反应。
3、适应性强：可适应浓度好，大气量，不同恶臭气体物质的脱臭净化处理，可每天24小时连续工作，运行稳定。
4、运行成本低：本设备无任何机械动作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低，（每处理1000立方米/小时，仅耗电约0.2度电能），设备风阻比较低＜50pa，可节约大量排风动力能耗。
5、无需预处理：恶臭气体无需进行的预处理，如加温、加湿等，设备工作环境温度在摄氏-30℃－95℃之间，湿度在30%－90%、PH值在2-13之间均可正常工作。
6、设备占地面积小，自重轻：适合于布置紧凑、场地狭小等条件，设备占地面积＜1平方米/处理10000m3/h风量。
7、材料制造：、蚀有力的，性能稳定，使用寿命长。
