ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10,具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜
 

提高样品的成像分辨率，提供更多表面细节信息

EVO 电镜广泛应用于材料和生命科学领域。

在低电压下，借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境条件下实时观察材料的相互作用，控制样品
室环境并实现含水生物样品的详细分析。

借助自动化工作流程实现高效应用。EVO 的 X 射线几何学设计能确保在分析工作条件下达到分辨率。 

高分辨电子扫描显微镜技术规格

设备主要部件及技术要求：

该项目的设备必须是全新设备且整体进口（包括所有零部件，元器件和附件等），满足各自的技术指标和性能，其性能应达到*水平，可靠性好，性能稳定，控制精度高，使用、操作和维修方便，售后服务优良，必须在河南地区常驻有售后工程师以方便后期维护。

1、基本要求

1.1 电子光学系统

1.1.1 发射源：钨灯丝；

1.1.2 分辨率：高真空二次电子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射电子像 ≤4.0nm（30kV）；

1.1.3 加速电压范围：200V－30kV，10V 步进连续可调；

1.1.4 放大倍数范围不小于：7X－1,000,000X，连续可调；

*1.1.5 探针电流范围：0.5 pA~5μA，连续可调；

*1.1.6 电子束控制模式不少于以下几种控制模式：分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式和鱼眼模式；

*1.1.7 分析工作距离不大于 8.5mm 且分析工作距离下的大视野范围不小于 6mm，普通模式下视野范围不小于 20mm；

1.2 真空系统

1.2.1 抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，不需要冷却水

1.2.2 样品室真空度：优于优于 3 x 10-4 Pa

1.2.3 抽真空时间：≤3 分钟

1.3 样品室及样品台

1.3.1  样品室内部尺寸不小于 310mm（直径）×220mm（高）；3

*1.3.2 可放置的样品尺寸和承重：样品直径不小于 230mm，高度不小于 100mm，台承重不小于5kg；

1.3.3   配备探测器：高真空二次电子探测器，背散射电子探测器，样品室红外 CCD 摄像装置

*1.3.4  配置五轴马达驱动样品台：样品台马达移动范围：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（倾斜），360°（旋转）

1.3.5  样品台类型：全电动 5 轴马达驱动样品台，双轴摇杆操作系统；

1.3.6  样品台具有接触报警与自停功能;

*1.3.7  马达台重复精度不低于 2um；