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日本ballwave微量水分计Falcon Trace 系列

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更新时间:2022-07-28 11:40:03浏览次数:501次

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超精密电镀电源? 1
日本ballwave微量水分计Falcon Trace 系列
超微量水分计“Falcon Trace"是使用球型SAW传感器定量测量工业气体和天然气中极微量水分子的设备。

日本ballwave微量水分计Falcon Trace 系列

超微量水分计“Falcon Trace"是使用球型SAW传感器定量测量工业气体和天然气中极微量水分子的设备。

响应速度极快,可实时监测含水量变化,可测量含水量和背景气体成分分析两项。气体中的水浓度可以精确测量到 1 ppb (1/10 亿) 的水平。

球SAW传感器测量原理

① 表面声波(IDT;Inter Digital Transducer)产生表面声波
② 表面声波在球的赤道线上循环,对所施加的敏感膜的微小变化作出
反应 ③ 反应后表面声波的信号变化 异形电极检测
④ 通过多轮积分微小变化实现高灵敏度传感。

案例研究/应用

  • 半导体制造设备制造商
    (主要是前端工艺)

  • 电池制造商
    及其材料制造商的制造过程

  • 工业气体制造商

产品阵容

响应速度极快,可在数秒内监测含水量变化,有助于稳定半导体和二次电池制造过程中的产品良率和质量。
无需重新配置每种背景气体,当天然气等成分发生波动时,可以同时检测。另一个主要优点是传感器材料是水晶球,这使其耐腐蚀、重量轻且易于携带。

FT-700WT

实现“超"微量水分测量的系列机型

  • 测量范围从露点 -110°C 到 -20°C

  • 除露点测量外,背景气体*成分(相当于平均分子量)也以 % 水平检测
    * 背景气体:要测量的气体的含水量

  • 用这一装置覆盖从天然气到高纯度气体

应用示例

工业气体制造过程/出货时的质量控制,半导体制造材料气体纯度控制

FT-400WT

可在中等范围内进行实时测量的中等型号

  • 在 1 秒内测量从 -90°C 的露点开始的变化,非常适合实时控制系统测量

  • 也可以更改为设备内置类型*
    * 请联系我们

应用示例

一般生产线的质量控制,电池制造过程的水分含量监测

FT-300WT

在保持高速响应性的同时强调便携性的小型通用型号

  • 1秒内测量-70°C露点的变化,支持实时测量系统

  • 轻巧紧凑,重量仅为 2 公斤,便于携带到目标区域

  • 即使在因电池驱动而没有商用电源的地方也可以使用

应用示例

干燥箱、空间水分分布、一般气体

日本ballwave微量水分计Falcon Trace 系列

规格详情

与其他公司产品的比较



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