行业产品

  • 行业产品

深圳市冬红科技有限公司


当前位置:深圳市冬红科技有限公司>>光学测试仪>>光学3D表面轮廓仪

光学3D表面轮廓仪

返回列表页
参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号HSR-05系列

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地

更新时间:2022-08-12 11:12:09浏览次数:131次

联系我时,请告知来自 环保在线

经营模式:生产厂家

商铺产品:149条

所在地区:广东深圳市

联系人:陈 (销售经理)

产品简介

以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的超高重复精度的3D测量,获取表征样品表面质量的2D、3D数据。

详细介绍

产品功能

1.粗糙度测量功能∶

从0.1nm级别的超光滑表面到数十微米级别的粗糙表面,仪器均能实现高精度测量,支持ISO/ASMEEUR/GBT等国内外标准的数百种2D、3D参数。

2.轮廓尺寸测量功能∶


支持纳米级高度测量和0.4um级别的线宽测量,支持80倍的槽深宽比测量,具备点、线、面相关的宽度、高度、角度、直径等各类轮廓尺寸测量功能;

3.自动多区域测量功能∶


实现方形、(椭)圆形外观样品的大范围内等分距离的多个小区域的自动测量;

4.自动拼接功能∶



当待测区域大于镜头单视场尺寸时,采用自动拼接功能设置好起点和终点即可一键完成大区域范围的测量,同时可根据样品表面质量选择高精度和高速扫描两种模式;

5.预编程分析功能∶


可在测量前设置好数据处理和分析流程,实现测量到分析的一键。式操作,有效缩减操作步骤;

6.同步分析功能∶

视图与分析工具同框设计,支持视图直接操作,分析工具实时更新分析结果,实现分析过程的所见即所得,大大缩减操作时间。

产品特点
  • 复合型扫描算法:集合了PSI高精度&VSI大范围双重优点的 EPSI扫描算法,有效覆盖从超光滑到粗糙等 所有类型样品,无须切换,操作便捷;

  • 自动测量功能:批量样品测量,无须精确对焦, 即可一键完成测量分析;

  • 双重防撞保护功能:Z轴上装有防撞机械电子传感器、 软件ZSTOP防撞保护功能,双重保护, 多一重安心。 

  • 地面&声波振动噪声隔振模块:气浮隔振系统&经过内部抗振处理的测头, 能够有效隔离地面振动噪声和空气中传播的声 波振动噪声,保证在嘈杂的车间环境也可正常工作;

  • 环境噪声检测功能:*的环境噪声评价功能能 够定量检测仪器当前所处环境的 综合噪声数值,对仪器的调试、测试可靠性提供指导;

  • 完善的售后服务体系:遵循客户的原则,设备故障时间远程&现场解决,软件免费升级。 

技术规格


型号HSR-05HSR-05ProHSR-08
光源白光LED
标配影像系统1024×1024
标配干涉物镜10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
标配视场0.98*0.98mm
物镜塔台3孔手动
XY位移平台尺寸320×200mm300×300mm400×400mm
移动范围140×110mm200×200mm300×300mm
负载10kg
控制方式电动
水平调整±5°±6°
Z轴聚焦行程100mm
控制方式电动
Z向扫描范围10 mm
Z向分辨率0.1nm
可测样品反射率0.05%~99%
粗糙度RMS重复性0.005nm
台阶测量准确度重复性
0.3% 1σ0.08% 1σ


注:粗糙度性能参数依据 ISO25178-2012 国际标准在实验室环境下测量Sa为0.2nm硅晶片Sq 参数获得;台阶高性能参数是依据 ISO4287-1997在实验室环境下测量4.7µm台阶高标准块获得。

应用领域

可广泛应用于对器件表面质量要求的半导体、光学加工、3C玻璃屏、薄膜制备、微纳器件、纳米材料、薄膜制备、超精密加工等工业企业领域,以及高校、科研院所和计量机构等研究、检测型单位。

关键词:传感器

感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

环保在线 设计制作,未经允许翻录必究 .      Copyright(C) 2021 https://www.hbzhan.com,All rights reserved.

以上信息由企业自行提供,信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责,环保在线对此不承担任何保证责任。 温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

登录 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~