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Tetra 3600 PC | 特殊设备
开关柜：宽 2000 mm、高 2000 mm、深 1200 mm
腔室：宽 1500 mm、高 700 mm、深700 mm
处理幅宽：1200mm
卷轴直径：127mm
卷轴外径：220mm
腔室容积：约 735升
气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
发生器：1 个 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
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