Tetra 30 LF-PC | 内联设备
·开关柜: W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm
·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm
·容积. 30 litres(可定制)
·气体供给:通过 MFC 控制的多路气体通道
·发生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
·控制系统: 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
·自动化:系统可以集成到生产线中
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Tetra 30 LF-PC | 内联设备
·开关柜: W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm
·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm
·容积. 30 litres(可定制)
·气体供给:通过 MFC 控制的多路气体通道
·发生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
·控制系统: 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
·自动化:系统可以集成到生产线中
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