产品详情:
Microhezao GVC-2000GB全自动离子溅射仪手套箱专用镀膜系统,自动化程序控制,一键式操作,让镀膜更加高效。,该设备采用触摸控制,外置泵组设计,采用平面磁控溅射靶设计,从而使试样在热效应最小的条件下得到效的溅射效果,常用于锂电池电极防氧化研究中。也可用于SEM、TEM及薄膜样品进行样品制备。
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技术参数:
输入电压: | 220V,AC | 样品托盘: | 标配65mm,可选90mm |
操作方式: | 触摸屏+微处理器控制 | 设备尺寸: | 424×271×255mm |
溅射电压: | 600V | 设备重量: | 主机重量11kg |
功率: | 450W | 保护功能: | 真空,电流双重保护 |
溅射电流 | 5-45mA,任意调节 | 可选配件: | 膜厚仪精度0.01 |
可选靶材: | 金、铂、银、铜、锑、钛、铬、铅等常用金属 | 配置泵组: | 外置机械泵 |
样品仓室: | 128×130mm | 溅射颗粒: | 5-10nm(Au) |