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滑式真空炉CVD系统

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产品型号S-1200HZ-CVD

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更新时间:2023-03-16 12:23:42浏览次数:278次

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产品简介

滑式真空炉CVD系统由滑动式开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温

详细介绍

功能特点:
本套系统由滑动式开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。
产品用途:
高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备
产品参数

  • 炉体结构:双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
  • 电源电压:AC220V 50/60Hz;
  • 功率:4KW
  • 炉管材质:高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小
  • 炉管尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm
  • 加热系统:加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用
  • 加热区长度:440mm(可定制)
  • 恒温区长度:200mm(可定制)
  • 工作温度:≤1150℃(可定制)
  • 温度:1200℃(可定制)
  • 升温速率:10℃/min
  • 温控系统:温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能30段升降温程序
  • 测温元件:N型热电偶
  • 恒温精度:±1℃
  • 混气系统:三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制
  • 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
  • 管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套
  • 每路气体进气管路配有不锈钢针阀
  • 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
  • 流量规格:0~1SLM
  • 流量精度:±1.5%
  • 极限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 标准配件:数显式真空压力表;可选高真空系统及真空计,压力控制系统等
  • 可选配件:混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。


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