设备特点
此款1700℃高温CVD系统，是由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统（或选配低真空系统）所组成。此设备主要用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 设备技术成熟、质量可靠，温场均匀，结构合理，气路选用液晶屏触摸界面，使得操作异常简单、方便；设备的各项技术参数，30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。
加热区参数 | 炉管尺寸：Φ60/80×1000mm（管径可选） 加热元件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 额定功率：5.2 KW 外型尺寸：610×440×720 mm 标准配件：高纯刚玉管1支，氧化铝管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个； 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头） 端口可按实际使用扩展。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数
| 国产油泵型号：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管：ZJ-52T电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W 采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。 |
高真空系统参数
| 空气相对湿度：≤85% 工作电压：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 外形尺寸：850×600×650mm 机械泵: 抽气速率：10m³/h 容油量：1.1L 电机功率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气速率：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。 分子泵控制器: 电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ Z大输出功率：≤150W Z大加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 复合真空计: 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻单元参数 规管型号：ZJ-52T电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 其他参数 控制路数：4路 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆 控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85% 连接管路: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。
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备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
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