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深圳维尔克斯光电有限公司
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该纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。此压电纳米定位台样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，长行程，高精度，压电纳米定位
英国Prior·queenstage 推出的压电纳米定位平台：SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，该纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。此压电纳米定位台样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。闭环行程500um。SP-Mini-500压电纳米定位台，占地面积小，是理想的易于集成在仪器或测试设备中的紧凑型纳米压电定位台。该Prior·queenstage的纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。
SP-Mini-500压电纳米定位台主要应用：
-高精度显微镜：共聚焦和光片等
-硬盘检测
-半导体检测和制造
-配合科学和医疗研究设备使用
-镜片定位
-纳米压电位移和纳米样品定位等
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台的平台在整个500微米的行程范围内保持非常稳定的状态。这使得样品架可以偏移放置。此电动Z轴在保持高性能定位的同时提高了对检测设备对于样品的定位能力。此Prior•queenstage的压电纳米定位台的样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台
紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500的主要特点：
-＞500 um行程，纳米级分辨率
-非常低的旋转误差：0.0025°
-电容式定位传感器，提供较高位置精确度和准确度。2 nm分辨率和5 nm重复度
-线性误差一般为＜0.002%
-动态性能：空载谐振频率一般为210 Hz，同服环路带宽可达55 HZ
-原位扫描和步进响应优化
-即插即用：载物台连接器包含载物台校准数据和参考传感器，便于控制器互换
-压电纳米定位
压电纳米定位台SP-Mini-500的技术规格
| 技术规格 | 参数 | 单位 | ||
| 材质 | 铝和不锈钢 | | ||
| 尺寸 | 36.5 x 60 x 24.5 10 15x15mm | mm | ||
| | 最小 | 常规 |
| |
| 开环行程 | 550 | 650 | | um |
| 闭环行程 | | 500 | | um |
| 静态刚度 | | 0.135 | | Num-1 |
| 谐振频率：0 g负载 | | 210 | | Hz |
| 谐振频率：20g负载 | | 195 | | Hz |
| 谐振频率：负载 | | | 1 | Kg |
| 动力参数 | 慢速 | 中速 | 快速 | |
| 3 dB带宽 | | | 55 | Hz |
| 小信号稳定时间 | | | 10 | ms |
| 位置噪音/分辨率 | 2 | | 5 | nmrms |
| 重复性（半程） | 5 | | | nm |
| 误差 | 最小 | 常规 |
| 单位 |
| 线性误差（峰值） | | 0.02 | | % |
| 旋转误差（roll） | | 0.0025 | | deg |
| 旋转误差（pitch） | | 0.0025 | | deg |
| 旋转误差（yaw） | | 0.005 | | deg |
Prior电动Z轴SP-Mini-500压电纳米位移台的可选配件：
-35 mm培养皿插件
-单波片夹具
纳米压电位移台SP-Mini-500需要配合英国Prior·queenstage专门为压电纳米定位设备研发的NPC-D-6110控制器。其强大的数字控制器可以的速度驱动纳米压电位移台SP-Mini-500。
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