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深圳维尔克斯光电有限公司
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LDA系列位移台的行程为20、25、75、100mm，其中还有两款型号X-LDA-AEZ线性位移台和LDA-AEZ线性平移台可实现带磁性平衡的垂直方向选项。
高精度的Zaber线性模组，线性位移台，带内置线性编码器
zaber线性平移台行程范围是20mm到150mm。LDA系列位移台的速度为800 mm/s，推力16N，负荷100N，精度为1.5μm，重复性＜0.2μm。内置1nm分辨率的线性编码器，可高精度伺服定位
LDA电控平移台的特点：
-线性电机驱动，高速运行
-20、25、75、150 mm行程
-1nm分辨率线性编码器
-带磁性平衡的垂直方向选项
-20nm最小增量移动
-交叉滚柱轴承设计，精度高
LDA线性平移台共分为四类：X-LDA-AE线性位移台、LDA-AE线性平移台、X-LDA-AEZ线性位移台以及LDA-AEZ线性平移台。X-LDA-AE系列均带有控制器，包含一个数字输入和两个数字输出，可以通过串行端口（使用带锁 X-SDC电缆）或USB（使用 X-USBDC电缆）控制菊花链中的所有设备。X-LDA-AE线性位移台和X-LDA-AEZ线性位移台也可使用带锁X-DC02电缆或X-DC06电缆将其他设备菊花链起来，还可实现在链中共享电源。LDA-AE线性平移台和LDA-AEZ线性平移台设计用于X-MCC用于协调多轴运动的串联控制器，通过自动检测，X-MCC控制器会自动为连接的外设配置其设置。
X-LDA-AEZ线性位移台和LDA-AEZ线性平移台都是高精度垂直载物台，带磁性平衡的垂直方向选项。二者的速度高达0.7m/s，加速度高达2.5g且具有高精度、高动态性能和高可靠性的非接触式无铁直线电机。X-LDA-AEZ线性位移台和LDA-AEZ线性平移台的最短行程均可实现20mm。
磁性平衡块：
为了使直线电机载物台适用于垂直应用，需要增加一个平衡块来补偿载物台移动质量和有效载荷的重量。通常情况下，理想的情况是平衡力平衡系统的重量，但有时如果在断电的情况下需要轻微的向上或向下收缩，平衡力会稍微偏移。
磁性平衡块的优点: 磁性平衡块的缺点：
-无摩擦 -负载能力较低
-无限寿命 -行程有限
-被动式 -通常为固定力
利用磁性平衡块是线性电机平台等高性能应用的理想选择。它们是真正的被动式，不需要空气或电源来提供力。被动式设计使这些平衡块非常适合有安全考虑或易碎有效载荷的应用。它们也是非接触式的，没有活动部件，因此设计本身无摩擦，使用寿命几乎无限。磁性平衡块的无摩擦特性尤其适用于高精度应用。对于几微米以下的微小移动，摩擦是增加移动时间的主要因素，而对于较大的移动，摩擦则是增加沉淀时间的主要因素。对于小移动，平台的响应主要由伺服控制器的积分项决定，它需要额外的时间来卷绕和克服系统中存在的任何摩擦。因此，较低的摩擦力也使得在各种动作尺寸范围内优化伺服调整变得更加容易。除了增加移动时间外，摩擦的方向性和粘滑特性也会限制位置的可重复性。磁性平衡块通常受限于较低的负载能力和较短的行程范围。但大多数高精度线性电机应用已经属于较低的负载能力和较短的行程范围，因此这些限制并不重要。
Zaber开发了一种专有的可调力磁平衡，允许用户在几秒钟内微调力的输出。这不仅允许更大范围的有效载荷，还意味着在断电的情况下，平衡块可以稍微上升或下降。这种设计两全其美，将磁性平衡块的性能和可靠性优势与气动平衡块的简单可调性结合在一起。X-LDA-AEZ线性位移台和LDA-AEZ线性平移台具有低摩擦交叉滚子轴承，使它们特别适合磁平衡设计，因为没有额外的摩擦降低小步进性能或可重复性。由于这些平衡块的非影响性质，增加平衡块不会改变Zaber线性平移台的精度、可重复性和最小增量移动规格。磁性平衡块也是移动磁轨直线电机设计可靠性的一个补充。即使有了平衡块，直线轴承也是这些平台上的运动部件。
LDA-AEZ线性平移台系列的典型精度：
LDA电控平移台Linear stages的典型最小增量移动：
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