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深圳维尔克斯光电有限公司
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TMC公司致力于隔震台的研究和制造。文章主要介绍列TMC公司主动隔震台的参数、性能、产品优势和技术描述等。
≥2Hz，≥90%隔振效果！TMC隔振平台，敏感仪器行业的标准解决方案
公司致力于高水准TMC隔振台系统的研发和制造，为高精密和高稳定性的科研领域以及工业生产提供所需要的条件。TMC主动隔振系统从简单的桌面式隔振显微镜底座到大尺寸的光学平台系统均有深入研究。公司凭借具有数字控制器和压电驱动器的精密的主动和惯性振动消除系统行业。同时也让TMC公司的主动光学隔震系统成了诸如生命科学、半导体、光子学、电子显微镜和计量学等科研领域和工业生产等敏感仪器对应嘈杂环境的标准解决方案，深受欢迎和认可。TMC的产品使用为的垂直集成制造工厂设计和生产，并且承诺为客户提供的服务。
TMC隔振台的主要性能体现在于其减震的频率范围，以及有效减震百分比。TMC主动隔振系统从0.6Hz开始具备减震效果，并且具有对2Hz以上的有效频率范围的震动减震效可达90%的性能。TMC公司的主动光学隔震系统主要采用压电主动震动消除，对比传统的空气隔震，具有更优异的性能。TMC隔震系统的出现，使得许多高精度和稳定性要求的实验和仪器运用成为可能，同时也促进了主动隔振台行业的技术革新。TMC隔震台的“刚性"式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以高标准运行。
TMC隔振台的主要特点：
-始于0.6Hz的隔振
-2Hz开始的主动减振效果可达90%的的隔振效果
-高灵敏度，低频惯性速度传感器
-没有任何空气隔振系统的局限性
-的串行设计和专有的高力压电技术
TMC隔振台的主要应用：
-聚焦离子束隔振
-扫描电子显微镜隔振
-超精密仪器和机械设备隔振
-半导体工业隔振
-小型双光束仪器隔振
-高大工具的建筑地面振动隔离
-半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备的震动隔离
TMC STACIS Ⅲ：
STACIS III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用的惯性振动传感器、的控制算法和的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动为敏感的仪器。
| STACIS Ⅲ性能规格 | |
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力：400 - 1100磅（182 - 500千克） |
| 中等承重能力：900 - 2100磅（410 - 955千克） | |
| 高承重能力：1900 - 4500磅（864 - 2045千克） | |
| 刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 从距离隔振器大4英寸（102毫米）处发射的磁场 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
STACIS Quiet Island：
半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛"替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。
| STACIS Quiet Island性能规格 | |
| 平台表面 | 不锈钢表面顶部和侧面； |
| 环氧涂漆钢底部 | |
| 平台结构 | 专有的多层层压钢板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 标准高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸 |
| 38、46、51、61、76、91、122厘米 | |
| 还可提供定制高度 | |
| 负载能力 | 量身定制 |
| 刚性立管和支架 | 获认证的焊接、全钢结构， |
| 与洁净室兼容的粉末涂层表面 | |
| 可选附件 | 限制支架、平台顶部吊环螺栓， |
| 用于格子式底层地面的桥板 | |
| 平台顶部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺纹孔 |
SEM-Base Ⅵ：
SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。
| SEM-Base Ⅵ性能规格 | |
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被动固有频率 | 标称值为12 Hz |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz时的隔振 | 90% |
| ≥3 Hz时的隔振 | 90 - 98% |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作负载范围 | 标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
| 高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克） | |
| 4英寸（102毫米）距离平台的磁场发射 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
TOOL-Base:
TOOL-Base是一种的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。
TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。
TOOL-Base优势:
-硬安装技术：TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。
-主动惯性振动消除 ：TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。
-采用压电技术的串行设计： 的串行设计和的高功率压电技术使得0。6Hz开始的有源带宽很宽，并且在2Hz开始的主动减振90%达到的惯性主动减振效果。
-配置灵活性：TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求
SEM-Base LP:
SEM-Base LP是TMC标准SEM-Base有源压电振动消除平台的定制低调版本。相比SEM-Base，SEM-Base LP易于安装，提供出色的性能并经过人体工程学优化。轻巧简便的改进，并不影响其功能——的STACIS压电技术，并具有与我们行业标准SEM-Base VI相同的振动消除性能。
| SEM-Base LP性能规格 | |
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被动固有频率 | 标称值为12 Hz |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz时的隔振 | 90% |
| ≥3 Hz时的隔振 | 90 - 98% |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作负载范围 | 承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
| 4英寸（102毫米）距离平台的磁场发射 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
LaserTable-Base:
LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术（空气和STACIS）整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应，这实现了低频率消振和的高频隔振水平。
LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计，可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架，具体取决于应用要求。
LaserTable-Base 规格：
-采用STACIS®技术
-主动惯性消振系统
-消振从低于1 Hz开始
-加长行程的压电致动器，高达60微米。
-6个主动自由度
-由两个串联隔振系统组成，可实现佳隔振效果
-采用MaxDamp®空气隔振器
-简单、坚固且经济高效
-可选的搁板，用于在工作台下方安装设备
-包括TMC的DC-2020数字控制器
Stage-Base:
TMC继续在技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供的主动振动和运动消除系统。
Stage-Base 450 规格：
-采用的STACIS®技术
-采用高力、加长行程的压电致动器
-有效载荷的位置可重复性在微米以内
-框架安装设计
-6个主动自由度
-可选的VCM前馈和/或反馈
-始于0.6 Hz的主动隔振
-响应平台运动的快速稳定时间
-无软空气悬架
-通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器
-简单、坚固且经济高效
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