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爱德华edwards半导体干式真空泵iGX1000N 干式泵

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更新时间：2023-05-23 07:47:13浏览次数：212次

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产品简介

iGX干泵真空系统爱德华edwards半导体干式真空泵iGX1000N干式泵iGX干式真空泵系列为大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这使其成为了世界上Z受欢迎的干泵之一，目前已在大多数的300mm工厂中安装了20,000套以上

详细介绍

iGX 干泵真空系统爱德华edwards半导体干式真空泵iGX1000N 干式泵
iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这使其成为了世界上Z受欢迎的干泵之一，目前已在大多数的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具接口和以太网连接，允许通过网页查看主要数据，同时包括一套全面的网络选项，可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术，整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省（与 iL/iH 干泵相比）。
*基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
应用
目标应用包括：
客户也将 iGX 用于一系列清洁和轻负载应用。
主要特性和优势

低功耗和零预防性维护，可降低拥有成本
小巧轻便，可使用灵活的安装选项
高性能电机和变频器驱动装置
待机模式使用环保模式，功耗更低
高导热性材料和优良设计可实现低水流量和高效冷却 - 那又怎么样？
精密陶瓷轴承可确保高负载容量，因而更加可靠
低振动和小于 55 dB(A) 的低噪声，可以安装在操作中同附近
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源

概述

iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。

iGX 干泵包括以太网连接功能，允许通过网页查看主要数据，另外还包括一套全面的网络选项，可确保泵持续运转。

iGX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀

iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A

iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和优势

低运行成本

与 iL/iH 干泵相比，设施成本Z多可降低 50%
无需预防性维护

灵活的安装选项

小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程

可以改进工具吞吐量

可用的Z快的负载锁定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了环境噪音

仅 55 dB(A)

峰值速度范围宽

100、300、600 和 800 m3h-1

技术数据

峰值速度	800 m3h-1
	471 cfm
	13333 l min-1
极限压力	1.00E-03 mbar
	7.50E-04 Torr
	0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限	1.6 kW
AUC（有源设备控制器）	1.05 kW
水入口*	2 slm
氮	4 或 14 slm
占地面积（不包括排气装置）	0.20 m2
重量	230 kg
进气口连接	ISO100
出口连接	NW25
极限噪音	< 55 dB(A)