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昆山熙日机械设备有限公司
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爱德华edwards涡旋干式真空泵nXDS20inXDS干式涡旋泵EdwardsnXDS具备出色的抽排能力、的真空性能和的设计特性，性能居同类产品
Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、的真空性能和的设计特性，性能居同类产品。
nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。
nXDS 泵可进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今技术的小型干泵的。
工作环境更好，环境影响低：
安静运转
操作简单：
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油：
采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本：
长维修间隔和低功耗
更快的制程：
出色的蒸汽处理能力
真空外壳中 不需要使用润滑剂，密封可保证的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
无大气压到 真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需Z低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本
*的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可保证的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需Z低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
*的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
| 标称旋转速度 | 1800 rpm |
| 排量 | 28.0 m3h-1 / 16.5 ft3min-1 |
| 峰值抽速 | 22.0 m3h-1 / 13.0 ft3min-1 |
| 极限真空（总压力） | 0.030 mbar / 0.022 Torr |
| Z小待机旋转速度 | 1200 rpm |
| 速度控制精度（以全速百分比表示） | 1% |
| Z小转速时的抽速 | 10 |
| Z大连续进气口压力 | 50 mbar |
| 电机功率（一相） | 260 W |
| 电源连接器（1 相） | IEC EN60320 C13 |
| 推荐保险丝 | 10A，250Vac rms |
| 重量 | 25.6 kg / 56 lb |
| 入口法兰 | NW25 |
| 排气口法兰 | NW25 |
| 噪音级别 | 52 dB(A) |
| 入口法兰处抗振性 | < 4.5 mms-1 (rms) |
| 密封性（静态） | < 1x10-6 mbar ls-1 |
| 工作温度范围 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
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