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化学气体刻蚀系统CertasLeagaCertasLEAGA是一种率的系统,除了CertasWING的基本性能之外,还可以满足单个平台上的多个流程需求
化学气体刻蚀系统 Certas Leaga
Certas LEAGA是一种率的系统,除了Certas WING的基本性能之外,还可以满足单个平台上的多个流程需求。针对当前和下一代设备的大量生产,LEAGA具有易于配置的主机,可以进行优化,以匹配所需的应用程序。扩展了Certas系列的工艺技术,现在可以控制多种类型氧化硅薄膜中的蚀刻选择性,从非选择性到高度选择性,为从大批量生产到下一个广泛应用的关键接口提供控制一代发展。
特征
的干气去除选择性范围广的选择氧化膜
集群双晶圆腔室设计提供灵活的模块配置
应用
二氧化硅膜去除和回蚀
在硅接触之前进行预清洁
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