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在线椭偏仪

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具体成交价以合同协议为准

产品型号In-situ series

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地国外

更新时间:2024-04-09 09:40:27浏览次数:29次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:88条

所在地区:上海上海市

联系人:王先生 (经理)

产品简介

在线椭偏仪仪器介绍:在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。技术参数:·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化

详细介绍

在线椭偏仪仪器介绍
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
 
在线椭偏仪技术参数
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
 
主要特点
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分

关键词:椭偏仪

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