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Mini真空探针台

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更新时间：2024-04-29 09:23:45浏览次数：28次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

Mini真空探针台KT-0904T是一款普通型无高温低温系统真空探针台，尺寸300mmX260mm，轻便小乔，功能齐全。可应用于导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

详细介绍

Mini真空探针台KT-0904T 是一款普通型无高温低温系统真空探针台，尺寸300mmX260mm，轻便小巧，功能齐全。可应用于导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

KT-0904T 系列探针台还有加热型探针台，高低温探针台，选择多样性。

真空探针台基本参数：

操作温度

高温：室温至400℃，

低温：可选择液氮达到-196℃

* 温度可控，可控精度<1℃

* 真空度1机械泵≤10Pa 分子泵≤10^-3Pa

可配置多达六个微操纵探针臂（波纹管）

Mini真空探针台KT-0904T 参数

真空腔体
类型	加热型350℃ 或者加热制冷型室温到350℃ 室温到-190℃
腔体材质	304不锈钢
腔体内尺寸	φ90x40mm
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
腔体抽气口	KF16
腔体进气口	公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体出气口	公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	304不锈钢
样品台尺寸	26X26mm
样品台-视窗距离	30mm（可选凹视窗间距15mm）
样品台测温传感器	A 级PT100铂电阻
样品台温度	室温到350℃（可选高低温样品台高温350℃低温-190℃）
样品台测温误差	±0.2℃
样品台变温速率	高温10℃/min 低温5℃/min 值
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.5℃
温度信号输入类型	PT100热电阻（可选 K S B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
辅助功能	温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线
探针
电信号接头	配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头香蕉插头线长1.2米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量	4探针（可定做6探针）
探针材质	镀金钨针
探针尖	10μm
探针移动平台
X轴移动行程	12mm ±6mm
X轴控制精度	≤5μm
Y轴移动行程	12mm ±6mm
Y轴控制精度	≤5μm
Z轴移动行程	12mm ±6mm
Z轴控制精度	≤5μm
数码显微镜
显微镜类别	物镜放大+电子放大
显微镜放大倍数	100倍
显微镜工作间距	50-150mm
相机分辨率	1080P 60帧
相机信号输出	HDMI输出+USB输出
LED可调光源	LED光源
显示屏	5寸屏幕一体机