净化FFU层流罩厂家
FFU特点
1.风机采用德国NiKi高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5小时或以上。
2.特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。
3.壳体结构选用不锈钢、铝合金、冷轧钢板材料制造,重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。
4.产品出厂前均按美国联邦标准209E,METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量。
三、FFU层流罩的应用
FFU(Fan Filter Unit),是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口,它与其龙骨系统(Ceiling Grid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系统以及灯具共同组成了FFU系统。
FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统zui为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造、*显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。