产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

● 可选高精度：优于0.5%

● 可测范围广，0.01~99%满量程

● 响应时间快，优于100 ms

● 内置98种气体

● 可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度     ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

质量流量高精度        ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

重复性                      ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移    ± 0.01%读数/ ℃温差

                                ± 0.1 %读数/ Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

                 一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（）

测量和控制范围    0.01～99%

显示流量    128 %满量程

可控流量    102.4 %满量程

显 示 屏    按键操作，标准为LCD黑白显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）见上段精度升级部分

                  ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差

重  复  性    ± 0.2 %满量程

零点漂移&满量程漂移    0.02% 满量程/ ℃/ Atm

响应时间    100 ms（可调）

预热时间    ＜1s

标定工况    25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0 ～ 95 %，无冷凝

工作压力    1 MPaG（可选2MPaG高压选项）

操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%读数（读数＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率；

                         模拟信号：1000Hz

屏幕刷新频率    10Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     7-30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）

供电电流    250 mA，1 A，2 A（详情咨询），额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃

过程连接    标准为NPT内螺纹，详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

 *如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询