工业用反渗透超纯水设备的工艺流程:
1: 预处理－反渗透－纯化水箱－离子交换器－紫外灯-纯水泵－用水点
2: 预处理－一级反渗透－二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预处理－反渗透－中间水箱－中间水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵-紫外灯 －用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级）
工业用反渗透超纯水工艺的优点：
1 、零部件均采用厂家，质量可靠。
2 、整体化程度高，易于扩展，增加膜数量即可增加处理量。
3 、自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。
4 、脱盐率高，可达 98 %以上。
5 、能耗低，运行成本低。
6 、水利用率高，回收率达到 50 - 75 %。
工业用反渗透超纯水工艺的应用范围：
1、超纯材料和超纯试剂的生产和清洗。
2、电子产品的生产和清洗。
3、电池产品的生产。
4、半导体产品的生产和清洗。
5、电路板的生产和清洗。
6、其他高科技精细产品的生产。
7 、结构合理，占地面积少。
8 、先进的膜保护系统，在设备关机时，淡化水可自动将膜表面的污染物冲洗干净，延长膜寿命。
9 、系统无易损部件，无需大量维修，运行长期有效。
