EX240-1准分子紫外线照射系统
FPD紫外线照射系统
火爆价直销准分子紫外线照射系统
脉冲紫外线照射系统
用于FPD的紫外线系统
准分子紫外线照射装置 ：
有2种励磁方法 : 无线电频 （RF） 方式和阻碍放电方式
Eye 公司的准分子紫外线放射使用RF放电方法
RF放电灯的特点
1.强紫外线输出
2. 寿命长离子影响小（对石英管壁）
3. 无使用高电压，所以安全性高。
4. 对输出紫外线可调光 准分子紫外线装置洗净，改质效果
准分子紫外线照射器特点
1. 短波紫外线 ：氙气准分子灯可以发射高能量，短波紫外线（172 nm）这是传统低压水银无法达到的。这可
以大幅度的减少反应时间，这也是传统低压水银灯无法做到的。
2. 瞬间点灯 ：不像传统低压水银灯，氙气水银灯点灯后无需稳定时间，可即可输出所需能量。可瞬间开或
关，无需快门，因此简化构造。
3. 可低温操作 ：不产生红外线因此不会损坏部件
4. 设定多样化照射条件 ：各种气体 （O2 和O3, 等等.） 可导入照射室, 调温阶段可使热处理同时使用。
用途
1. 在半导体区域，薄片和玻璃基板的干洗
2. 液晶，PDP,EL等制造程序中的干洗
准分子灯
准分子灯
模式 输出
（Ｗ） 有效弧长
（ｍｍ） 冷却方式 图示
EX240-1 200 200 水 图 1
EXH280-1 200 200 水 图 1
EXG430-1 400 400 水 图 1
EXH530-1 500 500 水 图 1
EXH680-1 600 600 水 图 1
EXH880-1 800 800 水 图 1
EXH1230-1 1000 1150 水 图 1
EXH1780-1※ 1700 1700 水 图 1
EXH2380-1 2300 2300 水 图 1
准分子照射系统
规格
照射器
模式 UEEX801
有效照射范围 800 X 90（mm）〔参考〕
灯模式 EXH880-1
波长 172nm
照射强度 （目标） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,450（W）X290（D）X391（H）
重量 约95ｋｇ
模式 UEEX1153
有效照射范围 1150X 170（mm）〔参考〕
灯模式 EXH1230-1
波长 172nm
照射强度 （目标） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,754（W）X500（D）X404（H）
重量 约160ｋｇ
模式 UBEX204
有效照射范围 max200X200（mm）
灯模式 4个高频放电准分子灯 EX240-1 Xe2*
波长 172nm
照射强度 （目标） 大约等于15ｍＷ/ｃｍ2 or
尺寸（mm） 550（W）X712（D）X326（H）
重量 约75ｋｇ
规格
电源
模式 UBEX801-3A/B
电压 200Ｖ±10% 三面
频率 50/60Ｈｚ
电容 ２ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X430（D）X222（H）
（不含突出部分）
重量 约15ｋｇ
规格
效用
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 20±10℃
流量 1- 2/min
压力 0.2MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 10 - 40/min
压力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX1153-3A/B
电压 200Ｖ±10% 三面
频率 50/60Ｈｚ
电容 ６ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X550（D）X216（H）
（不包括突出部分）
重量 约20ｋｇ
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 20±10℃
流量 4 - 6/min
压力 0.2MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 30 - 60/min
压力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX204
电压 200Ｖ±10% 三面
频率 50/60Ｈｚ
电容 1.5ＫＶＡ（7.5Ａ）
尺寸（mm） 480（W）X600（D）X199（H）
（不包括突出部分）
重量 约 30ｋｇ
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 10 to 30℃
水流 2.5 - 5/min
压力 0.1 to 0.3MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 10 to 30/min
压力 大于等于0.3 to 0.5MPa
* 可提供弧长为400mm和600mm型
金刚石薄膜紫外线检测
（ 模式: EVUV-200） 172nm/185nm
特点
1. 当受控于电脑时，可以远程控制.
2.金刚石薄膜的使用，即使长时间操作也不会降低感应性能。
3. 由于忽视可视光，即使在荧光灯灯照明场所也不会产生误差。
4. 为保护感应器免受紫外线和臭氧侵害，封闭外壳为镀金外壳
5. 感应器受光部为承受强紫外线，课穿透172nm波长的蓝宝石窗口。 特点
主机 模式 EVUV-200
测定模式 3 种模式 : 强度测量, 峰强度测量, 积算光量
功能 - 温度测定（测定器内置感应器上部
）
- 电压不足提醒
- 零偏移
电源/
电池寿命 碱性电池 （size AAA） × 4 ea./100小时
（ 连续操作 ）
外形尺寸 Ｗ100ＸＨ45ＸＬ211 （mm）
重量 约 400g （ 包括电池s ）
附件 感应器头套× 1 （EVUVD-172 or EVUVD-185 ）
RS-232C兼用电线× 1
AAA 碱性电池 × 4
收纳箱
感应头套
模式 EVUVD-172 EVUV-185
校正波长 172
照射强度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00
峰强度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00
积算光量
（ｍＪ/ｃｍ2） 0.00～9999
外部输入 模拟、ＲＳ-232Ｃ
尺寸（ｍｍ） Ｗ50ＸＨ17ＸＬ65 ※不包括电线
重量 （ｇ） 约150
操作环境 温度（℃） 0- 50
※内置温度感应器 head
湿度（％ＲＨ） 小于等于85 （无结露）
