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广电计量检测集团股份有限公司

hmds真空镀膜机,光刻hmds镀膜烤箱

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  • 公司名称上海隽思实验仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2018/3/9 10:24:32
  • 访问次数1826
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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
    不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!






HMDS烘箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,PI烤箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,超低温试验箱
hmds真空镀膜机,光刻hmds镀膜烤箱的用途:
hmds真空镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
hmds真空镀膜机,光刻hmds镀膜烤箱 产品信息

hmds真空镀膜机,光刻hmds镀膜烤箱的用途:
hmds真空镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

hmds真空镀膜机,光刻hmds镀膜烤箱的特点:

1、安全性高、更加环保,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。 

2、效率高,液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达8盒(4寸)的晶片

3、预处理性能好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。

4、均匀性好,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

5、更加智能化,智能型的程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。当HMDS液位过低时发出报警提示。

的技术规格:

1.设备名称

  HMDS预处理系统

2、设备型号

  JS-HMDS90

3、设备主要技术参数                                                          

3.1 工作室尺寸

  450×450×450mm(可修改)

3.2 产品架

  2层

3.3 温度范围

  RT+10-250℃

3.4 温度分辨率

 0.1℃

3.5 温度波动度

 <±1℃

3.6 真空度

 133pa

3.7 洁净度

class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

   AC 220V±10%     50HZ       总功率  约2.5KW    

3.9 控制仪表

  人机界面

3.10显示分辨率

 时间:0.1min

3.11真空泵

 油泵或进口干泵

 

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