低温等离子体主要是由气体放电产生的。气体放电就是指通过某种机制使一个或几个电子从气体原子或分子中电离出来，使之形成电离气体。然后电离气体由外电场产生并形成传导电流（即气体放电现象），从而获得等离子体。放电方式有辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频放电及微波放电等。低温等离子有机废气净化设备生产厂家
由于低温等离子体中存在着很多活性很高的粒子如电子、粒子、活性基团等，所以它的化学活性很高，而能跟许多难降解的污染物发生反应，使被处理的污染物得以转化或分解。低温等离子体的净化机理是使数万度的高能电子与气体原子或分子发生非弹性碰撞，从而使气体通过激发、离解和电离等一系列过程活化。低温等离子有机废气净化设备生产厂家
利用低温等离子体处理废气时，等离子体内部会发生各种类型的化学反应，这主要取决于电子的平均能量、电子密度、气体温度、污染物气体分子浓度及共存的气体成分等因素。一般说来，当电子能量＜10eV时会产生活性自由基，被等离子体活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除；而当电子平均能量大于污染物分子化学键能时，污染物就会因为化学键的断裂而分解。
