无论是实验室制得的气体、还是钢瓶中的气体，在使用之前都必须预先纯化以除去痕量其他气体杂质。并需要防止尘埃污染和吸湿。高纯气体污染主要发生在贮藏、运输和计量的过程中。保持高纯气体的质量的关键是谨慎处理高纯气体。在实际工作中，要使高纯气体不受污染，需要有许多严格的控制措施，在条件许可的实验室都应设置的贮气室，将氧化性气体与还原性气体分开放置，将可燃性气体与不可燃气体分开放置，以防止意外爆炸事故发生。在使用高纯气体时，为保证高纯气体不受污染或将污染减少到低程度，应注意下列问题。
选用合适的压力调节阀和传输管道压力调节阀要求。严密不漏气，输出压力稳定；调节阀与气体接触部分的构件具有耐腐蚀性；在阀内或管道内配备过滤器（如烧结金属过滤器或微孔过滤系统），以便滤除微粒，减低颗粒物质在高纯气体中的含量。
传输管道应尽可能采用洁净的金属管如不锈钢或聚四氟乙烯管。管子安装只能用聚四氟乙烯扎带。
严格清洗气体传输系统的各组成部分，必须事先用合适的去油脂溶剂如三氯乙烯清洗管道等部件上的微粒、油污、吸附物、水分等。各部件组装后在使用这这前，应抽空并用惰性气体如干燥的氮气来吹洗用以除去水气等杂质。限定气瓶的使用的低压力，因为在高压下气体中的杂质可能吸附在气瓶内壁上，而当气瓶压力下降时，被吸附在内壁上的杂质会解吸下来，因而，应限定气瓶低的使用压力。
在使用过程中，要经常检查气瓶和传输系统的密闭性，若发现漏气，应及时采取措施。
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