VSI系列真空规|真空变送器2e-3 到5e-9 mbar
优点：
- 用户可以自动或手动控制数字冷阴极传感器
- 特殊技术的快点火
- 对自动关闭引起的空气涌流不敏感
- 防护等级IP54的连接头
- 传感器可更换
- 数字和模拟输出信号/接口：199-7.801V，RS485
- 可根据需要的输出特性，输出信号可调，方便更换现有的传感器
VSI系列真空规|真空变送器2e-3 到5e-9 mbar
应用：
- 涂层工厂和气相沉积
- 工业炉
- 过程工程
- 溅射装置
- 分析仪器
- 高真空测量与控制
VSI系列真空规|真空变送器2e-3 到5e-9 mbar
技术参数：
| 重量 | 0.555kg |
| 尺寸 | 6.9 x 4.8 x 15.3 cm |
| 测量原理 | 冷阴极，不依赖于气体种类 |
| 接触真空的材料 | 不锈钢1.4305, 镍，钨，钼，玻璃，陶瓷 |
| 响应时间 | <50 ms |
| 测量范围 | 2×10-3到5×10-9 mbar，过压10bar，绝压 |
| 精度 | 2×10-3到2×10-8 mbar：< 25% |
| 重复性 | 2×10-3到2×10-8 mbar：±7%读数 |
| 阴极电压 | 大2,5 kV |
| 供电 | 20-30VDC |
| 电气连接 | VSIxD/DL：D-Sub,15针，公接头；可选：FCC68 (P_VSI003)VSIxE, VSIxPN：M12接头，母接头，可锁
1xA标准, 5pol., 2xD coded, 4pol. |
| 功耗 | 大3 W，多0.8用 EtherCAT / 继电器/ LCD功能 |
| 工作温度 | +5℃…+60℃ |
| 储藏温度 | -40℃…+65℃ |
| 烘烤温度 | 160℃法兰（不连接电子元件） |
| 输出信号 | 0 – 10 VDC,范围1.819 – 8.6 VDC, log., 0.6 V/年校准，电阻> 10kOhm |
| 串行输出 | RS485: 9.6 kBd 到115 kBd，地址开关1 – 16可选EtherCA T，Profinet |
| 开关点 | 2 切换继电器 50VAC/2A, 30 VDC/2A，大60 VA |
| 真空连接 | DN 25 ISO-KF |
| 防护等级 | VSI1xE, VSI1xPN: IP54VSI1xD/DL: IP40, IP54 带适配器 |
VSI系列真空规|真空变送器2e-3 到5e-9 mbar
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