First-Nano System GmbH
2003年 创立于德国德累斯顿工业大学（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司
2015年 上海成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司中国代表处，负责中国区业务
2018年 深圳正式成立韦氏纳米系统（深圳）有限公司，更好的为中国南方区市场
产品范围：
薄膜沉积/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
谱反射仪（SR）系列是一款相对较低成本和操作简单的工具。
SR 系列特征：
简单易操作
系统性能基于*的光学设计
基于阵列的探测器系统保证快速测量
测量薄膜厚度和折射率可达5层
允许在毫秒内获得反射、透射和吸收光谱
可用于实时或在线厚度，折射率的监测
系统具有全面的光学常数数据库
*的TFprobe软件允许用户使用NK表、分散或有效介质近似（EMA）每个单独的膜。
可升级到MSP（显微分光光度计）系统，SRM映射系统，多通道系统，大点的·直接测量图案或功能结构
适用于多种不同厚度的基材
各种附件可用于特殊配置，如运行曲线测量曲面
2D和3D输出图形和用户友好的数据管理接口
光谱反射仪型号：
| SR100 | SR300 | SR500 |
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