uv光氧等离子一体机废气净化设备化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
1、电场+电子→高能电子； 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团； 活性基团+分子(原子)→生成物+热；活性基团+活性基团→生成物+热。
一、当废气进入光氧等离子一体机废气净化设备内，首先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，再通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发 (在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除)。部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。臭氧也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，*达到脱臭及杀灭菌的目的。
二、在外加电场的作用 下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安 全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有*潜在优势的*， uv光氧等离子一体机废气净化设备受到了国内外相关学科界的高度关注。
