等离子废气处理设备在车间机器产生废气的具体部位加上密闭系统，然后安装相对应的管道，利用风机作用将废气抽出；另外，一方面在车间四周的地面部位安装一定量的鼓风机，将车间内散布的废气由下而上鼓气，另一方面在车间顶部安装抽风机，使抽气量大于鼓风量，从而车间内产生一定的低负压，保证了车间内废气不会像外扩散。抽出的废气统一由管道外送进行处理。
等离子废气处理设备废气源集气罩(搜集车间各个废气源的废气，接入主管道)喷淋吸收塔(吸收掉能溶于水的无机废气、粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境)一级低温等离子处理设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)净化吸收塔(进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些无机气体，水洗小分子碎片，利于检测达标)烟囱高空排放(也可低空排放)。
废气经阻火器过滤后，通过主进阀、旁通阀的同步反向切换调节进入热交换器，热交换器的热气升高一定温度后进入预热室、经过预热室的加热使废气升温到催化起燃温度（250度）然后进入催化反应床，在催化剂的活性作用下，有机废气进行氧化反应生成无害的水和二氧化碳，并放出一定的热量。反应后的高温气体再次进入热交换器，经换热后，后以较低的温度经引风机排入大气。催化燃烧是借助催化剂在低温下（200－400度）实现对有机物的*氧化，因此，操作简单、安全、净化效率高，在有机废气特别是回收价值大的有机废气净化等领域应用广泛。
固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，由于表面吸附质的浓集，使其吸附能力明显下降而吸附净化的要求，此时需要采用一定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生。因此在实际吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循环过程，达到除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。
燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。但当处理含氯和含硫的有机化合物时，燃烧生成产物中HCl或SO2，需要对燃烧后气体进一步处理。
等离子体就是处于电离状态的气体，等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
