臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。
随着环保要求的日益严格，传统的烟气脱硫脱硝工艺将不能满足严格的减排要求，此外，传统工艺还存在设备投资高、占地面积大、系统复杂等缺点。因此开发工艺简单、可靠的脱硫脱硝工艺具有重要意义。
采用臭氧的高级氧化技术不仅对NOX具有良好的脱除效果，而且对烟气中的其他有害污染物，比如重金属汞也有一定的往除能力。
影响臭氧同时脱硫脱硝的因素主要有摩尔比、反应温度、反应时间、吸收液性质等。
目前，该技术在国外已进进产业化应用阶段，但现阶段臭氧的制备用度较高，制约了该技术的推广使用，随着臭氧发生装置的逐步改进，臭氧氧化同时脱硫脱硝技术必将会有更加广泛的应用远景。
臭氧氧化脱硝工艺可广泛应用于：1、以煤、焦炭为燃料的公用工程锅炉。2、以天然气、煤、重油为燃料的工业锅炉。3、铅、铁矿、玻璃、水泥等各种工业窑炉。4、处理生物废料及其它工业废料的焚烧炉。5、酸洗和化工过程的酸性气体。6、催化裂化尾气。
