在光催化氧化反应中，在253.7nm波段的紫外线光能的照射下纳米TiO2催化板吸收光能并同时产生电子跃进、空穴跃进，电子跃进和空穴跃进强力结合后产生电子空穴对，一般与表面吸附的H20、O2反应生成氧化性很活波的氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、O-）。能够把空气中各种有害气体如苯类、酮类、酯类及其他TVOC类有机物直接氧化原成H2O和CO2等小分子物质，因为采用的氧化剂是空气当中的H2O和O2，所以不会产生任何二次污染。
以甲苯为例：H2O+UV→H+OH
O2+UV→O3
C7H8+O3→CO2+H2O
利用185nm波段的紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对工业废气及其它小分子物有*的清除效果。工业有机废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用253.7nm波段的紫外线光束及185nm波段的紫外线光束产生臭氧对工业废气进行裂解后氧化，使工业废气物质其反应转化成水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。SZLT-光氧催化系列设备,选择了C波段紫外线和臭氧发结合电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放吸附技术相结合的原理对工业有机废气和恶臭气体进行*消除。从而达到净化气体及除臭的目的，去除效率达到93%以上，超过国家1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）和《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)。
