高压泵头CAT5CP4110CSS泵组技术参数分析分子泵工作方法操作方法启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系统的配置随真空室的容积的大小而有所不同。对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。在压力为100到150Pa时关闭粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。
CAT2SF30GES cat泵45G1/700G1
CAT4SF32ELS cat泵2SF35SEEL
CAT2SF35ES cat泵66DX30G1I
CAT2SF35GES cat泵2SF42SEEL
CAT3CP1140 cat泵5CP6251
CAT5CP3110CSS cat泵2SF30GS
CAT5CP2140WCS cat泵3DX29GSI
CAT4SF40ELS cat泵5CP6241CS
对某些泵，这样做会引起轻微而滞后的瞬时减速，但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样，涡轮分子泵系统中的主要的物质是水蒸气，其抽气时间将受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么这个系统抽除水蒸气的速度就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些。在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，因为它可能比未暴露在压力高于150Pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。 高压泵头CAT5CP4110CSS泵组技术参数分析
