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无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱 工业烘箱

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  • 公司名称上海隽思实验仪器有限公司
  • 品       牌隽思
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2023/7/16 9:35:47
  • 访问次数1271
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      上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
     不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!




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无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺
无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱 工业烘箱 产品信息

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱技术参数:

用途

用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

温度范围

室温+10℃~250℃

温度波动度

恒温温度波动±0.5℃

温度均匀度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(宽)*600(高)(可自定)

洁净度

Class100

气体过滤

配有气体过滤装置,保证腔体内洁净度为100级

隔板要求

每个腔体配二个隔板,用不锈钢板冲孔制成

箱体外壁材料

冷轧钢板静电喷塑(或SUS304)

箱体内壁材料

为不锈钢板内壁氩弧焊(SUS316或SUS304)

保温材料

优质超细纳米玻璃棉

氮气接口

能将箱内空气排出,确保烘烤的硅片是在氮气中进行

控制方式

人机界面+PLC控制

氮气流量

0.3~0.5M3/H(可选择具有流量偏低/偏高报警功能,并实时监控记录曲线)

超温保护

采用独立的超温保护装置,确保温度不超限;当保护装置动作时,超温保护装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调

计时方式

温度达到制程设定值后开始计时.

排风口

直径114mm的排风口,且安装有调节风阀

电气安全保护

风机过载保护、加热系统超温保护、电磁门锁保护、安全接地保护.

MES软件

可连接MES系统

作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确

自动记录作业累计次数,作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表

有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员

 

无尘class100烘箱,MES接口无尘烘箱用途: 

   无尘烘箱用于IC生产过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤(软烘),脱水烘烤,涂胶后的坚膜烘烤(硬烘);也适用于电子液晶显示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等生产及科研部门。

 

 

 

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